| 发明名称 |
HEATING METHOD AND HEATING DEVICE FOR OBJECT TO BE TREATED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07220855(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940011755 |
申请日期 |
1994.02.03 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
TAKAMIZU KAZUNARI |
| 分类号 |
H05B3/00;H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H05B3/00 |
主分类号 |
H05B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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