发明名称 |
MEASUREMENT OF FLATNESS OF DONOR KILLER UNTREATED WAFER AND FLATNESS MEASURING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07221149(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
申请号 |
JP19940025885 |
申请日期 |
1994.01.31 |
申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
AZUMA JIYUNICHIROU;ROBAATO KEI GURAUPUNAA |
分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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