| 发明名称 |
PREDICTION METHOD FOR FILM DEPOSIT SHAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07221045(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940013368 |
申请日期 |
1994.02.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHII HIROYUKI;HASHIMOTO YOICHI |
| 分类号 |
C23C14/54;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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