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发明名称 FLUOROCARBON GAS RECOVERY REGENERATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07218051(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940010795 申请日期 1994.02.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SHIMIZU ENG KK 发明人 MATSUURA TAKASHI;ENDO SHUNICHI;HARADA MASAO;FUJITA MAKOTO
分类号 F25B45/00;(IPC1-7):F25B45/00 主分类号 F25B45/00
代理机构 代理人
主权项
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