| 发明名称 |
THIN-FILM MAGNETIC HEAD AND ITS MANUFACTURE AS WELL AS WORKING METHOD BY ETCHING GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07221081(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
| 申请号 |
JP19940077362 |
申请日期 |
1994.04.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIYOSHI YASUO;TOBA TAMAKI;IMAYAMA HIROTAKA;OKAWA TAKAKO;FUJISAWA MASAYASU;NATE KAZUO;SONOBE HIDEKI;SUZUKI SABURO;TOGAWA EISEI;ISHIZAKI HIROSHI;HAGIWARA YOSHIKI |
| 分类号 |
B23K15/00;C23F4/00;G11B5/31;G11B5/60;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B23K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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