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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH07220996(A)
申请公布日期
1995.08.18
申请号
JP19940009552
申请日期
1994.01.31
申请人
NEC CORP
发明人
SHIRAKI SEIICHI
分类号
G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
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