发明名称 METODO PARA APLICAR UNA CAPA DE MATERIAL SUPERCONDUCTOR Y UN DISPOSITIVO ADECUADO PARA DICHO METODO.
摘要 SE DESCRIBE UN METODO EN EL QUE SE PUEDEN APLICAR DIFERENTES CAPAS A SUBSTRATOS A UNA BAJA TEMPERATURA (ALREDEDOR DE 400 TO ES, LA DIFUSION O LAS REACCIONES, ENTRE EL SUBSTRATO Y LAS CAPAS QUE SE LE APLICAN. ADEMAS, SE REALIZA UN TRANSPORTE EFICAZ DE OXIGENO QUE CONTIENE PLASMA SOBRE EL SUBSTRATO A LO LARGO DE LINEAS DE CAMPO MAGNETICO, GENERADAS POR DOS SOLENOIDES, A CAUSA DEL ACOTAMIENTO DE ESE CAMPO MAGNETICO. INCLUSO A UNA PRESION DE SOLO ( ) TORR, EL PLASMA SE INFLAMARA. LA PASIVIZACION OPCIONAL DE UNA CAPA SUPERCONDUCTORA USANDO UNA CAPA DE OXIDO PUEDE REALIZARSE SIN EXTRAER OXIGENO DE LA CAPA SUPERCONDUCTORA CUANDO SE PUEDE INTRODUCIR SUFICIENTE OXIGENO EN EL PLASMA.
申请公布号 ES2073508(T3) 申请公布日期 1995.08.16
申请号 ES19900200882T 申请日期 1990.04.10
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 DENEFFE, KRISTIN;BORGHS, GUSTAAF REGINA
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/28;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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