发明名称
摘要
申请公布号 JPH0777218(B2) 申请公布日期 1995.08.16
申请号 JP19860214224 申请日期 1986.09.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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