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经营范围
发明名称
Multistage vacuum pump.
摘要
申请公布号
EP0476631(B1)
申请公布日期
1995.08.16
申请号
EP19910115864
申请日期
1991.09.18
申请人
EBARA CORPORATION
发明人
NIIMURA, YASUHIRO;SAITO, HARUMITSU
分类号
F04C25/02;F04C23/00;F04C28/28;F04C29/00;(IPC1-7):F04C23/00
主分类号
F04C25/02
代理机构
代理人
主权项
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