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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0776160(B2) 申请公布日期 1995.08.16
申请号 JP19870280166 申请日期 1987.11.05
申请人 JAPAN ENAJII KK 发明人 TAKAHASHI JUNZO;SATO KENJI;KAMEYAMA TAKEHIKO
分类号 H01L21/324;C30B29/40;C30B33/00;C30B33/02;(IPC1-7):C30B33/02 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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