发明名称 |
Calibration for bichannel radiation detection. |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0490290(B1) |
申请公布日期 |
1995.08.16 |
申请号 |
EP19910120967 |
申请日期 |
1991.12.06 |
申请人 |
AG PROCESSING TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
GAT, ARNON;MARDO, DAVID |
分类号 |
G01J5/00;G01J5/60;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):G01J5/00 |
主分类号 |
G01J5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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