发明名称 |
HEAVY CARGO TURNING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07215427(A) |
申请公布日期 |
1995.08.15 |
申请号 |
JP19940014263 |
申请日期 |
1994.02.08 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
SUGIYAMA TOMOKAZU;YOKOMORI KAZUTO |
分类号 |
G01R31/26;B65G7/08;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G7/08 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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