发明名称 HEAVY CARGO TURNING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07215427(A) 申请公布日期 1995.08.15
申请号 JP19940014263 申请日期 1994.02.08
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 SUGIYAMA TOMOKAZU;YOKOMORI KAZUTO
分类号 G01R31/26;B65G7/08;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G7/08 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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