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发明名称 CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07216569(A) 申请公布日期 1995.08.15
申请号 JP19940214661 申请日期 1994.09.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 INADA MINORU;KAMURAGI MASAAKI;IMASHIRO YASUTAKA;KOKUNI NAOYUKI;YAGI NORIAKI;SAITO NOBUHIRO;KURITA AKITSUGU;TAKEZAWA YOSHIAKI
分类号 B08B3/08;C11D7/22;C23G1/36;C23G5/032;(IPC1-7):C23G5/032 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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