发明名称 |
METHOD FOR REGENERATING WASTE NICKEL-CONTAINING ETCHANT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07216566(A) |
申请公布日期 |
1995.08.15 |
申请号 |
JP19940007983 |
申请日期 |
1994.01.28 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MAEKAWA RYOICHI;AKIYOSHI HIDEKAZU |
分类号 |
C23F1/46;H01J9/14;(IPC1-7):C23F1/46 |
主分类号 |
C23F1/46 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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