| 发明名称 |
JIG FOR VAPOR DEPOSITION AND METHOD FOR REGENERATING JIG FOR VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07216529(A) |
申请公布日期 |
1995.08.15 |
| 申请号 |
JP19940194854 |
申请日期 |
1994.07.27 |
| 申请人 |
TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK |
发明人 |
SUZUKI TOSHIHIRO;YAMAGAMI AKIYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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