| 主权项 |
1. 一种提供蒸气相三甲基铟之方法,其包括将三甲基铟溶解于C@ss3-C@ss5三烷基铟溶剂中以产生溶液,并以一载剂气体将三甲基铟从该溶液中带出,其中三甲基铟对该溶剂之莫耳比为0.05至3。2. 如申请专利范围第1项之方法,其中该溶剂系选自三—正—丁基铟、三异丁基铟及彼等之混合物。3. 一种含有C@ss3-C@ss5三烷基铟溶剂及溶解于其内之三甲基铟的溶液。4. 如申请专利范围第3项之溶液,其中所溶解之三甲基铟系相对于该溶剂之莫耳比为0.05至3 。图示简单说明:图1系下文实施例中使用来输送汽化之三甲基铟的装置图解。图2系下文实施例中被输送之三甲基铟重量对传送小时的 |
