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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07211951(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940004928 申请日期 1994.01.21
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 YOSHIDA ISAO;TAKO IWAO;NAKAO MASAO
分类号 C01G1/00;C30B25/02;C30B29/22;H01L21/205;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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