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发明名称 CHARGED PARTICLE EMITTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07209498(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940014863 申请日期 1994.01.13
申请人 EBARA CORP 发明人 NISHIFUJI MUTSUMI;YOSHIOKA TAKESHI
分类号 G21K5/04;H01J37/141;H01J37/30;(IPC1-7):G21K5/04 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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