| 发明名称 |
VAPOR PHASE CHEMICAL REACTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211647(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940002959 |
申请日期 |
1994.01.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUTSUMI YOSHITSUGU;TSUZUKI KOICHI;EBAN HOITSUTOBII |
| 分类号 |
C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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