发明名称 FINE DISPLACEMENT MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH07208922(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940023096 申请日期 1994.01.25
申请人 ELIONIX KK;SHIMAMOTO ATSUSHI 发明人 SHIMAMOTO ATSUSHI;TANAKA KOICHI;YASUDA NORIO
分类号 G01B11/00;G01H9/00;G01J1/42;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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