发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07211898(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940005019 申请日期 1994.01.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA TATSUYA;KATO YOSHIAKI;YASUHIRA MITSUO
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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