| 发明名称 |
PROBE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07211753(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940005087 |
申请日期 |
1994.01.21 |
| 申请人 |
AGING TESUTA KAIHATSU KYODO KUMIAI |
发明人 |
OSANAI HIROYOSHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
