发明名称 EXPOSING SHUTTER MECHANISM FOR ELECTRON MICROSCOPE ETC
摘要
申请公布号 JPH07211276(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940001488 申请日期 1994.01.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI TADANORI;TAYA TOSHITAKA
分类号 H01J37/09;(IPC1-7):H01J37/09 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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