| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211636(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940319223 |
申请日期 |
1994.11.29 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
OTANI HISASHI;ADACHI HIROKI |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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