| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE AND METHOD FOR CLEANING THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211489(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940004930 |
申请日期 |
1994.01.21 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
TANO SHINJI;MORIOKA YOSHITAKA;KOBAYASHI SHIGEKI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01P7/06;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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