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发明名称 FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH07211698(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940003951 申请日期 1994.01.19
申请人 SONY CORP 发明人 FUKUDA SEIICHI
分类号 H05H1/46;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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