| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SCRUBBING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211677(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940114779 |
申请日期 |
1994.04.28 |
| 申请人 |
M SETETSUKU KK |
发明人 |
ITO TAKASHI;SAITO HIROYUKI;KINAMI HARUYUKI;KONAKA TOSHINORI;MURAI TAKESHI |
| 分类号 |
B08B1/04;B08B11/02;B24B29/02;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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