| 发明名称 |
LOW-PRESSURE INDUCTIVE COUPLING PLASMA IGNITION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07211490(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940263351 |
申请日期 |
1994.10.27 |
| 申请人 |
LSI LOGIC CORP |
发明人 |
ROJIYAA PATORITSUKU;FUIRITSUPE SHIYOOENBOON;MAAKU FURANKURIN;FURANKU BOOZU |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
