| 发明名称 |
CLEANING EQUIPMENT FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211683(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940006047 |
申请日期 |
1994.01.25 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
SAKASHITA KENJI |
| 分类号 |
G02F1/1333;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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