发明名称 FORMATION OF CONDUCTOR PATH ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07211776(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940337039 申请日期 1994.12.27
申请人 INTEL CORP 发明人 DONARUDO ESU GAADONAA
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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