| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DIFFUSING IMPURITIES AT LOW TEMPERATURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07211666(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940004528 |
申请日期 |
1994.01.20 |
| 申请人 |
ISHIKAWA YUTAKA;HOUSHIN KAGAKU SANGIYOUSHIYO:KK |
发明人 |
ISHIKAWA YUTAKA;SHOJI MASASHI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/06;C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/225 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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