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发明名称 SPUTTERING SYSTEM FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07211640(A) 申请公布日期 1995.08.11
申请号 JP19940298246 申请日期 1994.12.01
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 CHIYOU KEISHIYU
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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