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发明名称 Träger für integrierte Schaltungen.
摘要
申请公布号 DE69020607(D1) 申请公布日期 1995.08.10
申请号 DE19906020607 申请日期 1990.03.28
申请人 YAMAICHI ELECTRONICS CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUOKA, NORIYUKI, TOKYO, JP
分类号 H01L23/32;H01L21/00;H01L23/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L23/32
代理机构 代理人
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