发明名称 Verfahren zur Abscheidung eines dünnen Films.
摘要
申请公布号 DE69106091(T2) 申请公布日期 1995.08.10
申请号 DE1991606091T 申请日期 1991.09.20
申请人 ANELVA CORP., FUCHU, TOKIO/TOKYO, JP;NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AKETAGAWA, KEN-ICHI, C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;SAKAI, JUNRO, C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;TATSUMI, TORU, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP;MURAKAMI, SHUN-ICHI, C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP;MUROTA, HIROYOSHI, C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI, TOKYO, JP
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/16;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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