发明名称 Kapazitiv geleitete Teilezusammensetzung.
摘要
申请公布号 DE68920256(T2) 申请公布日期 1995.08.10
申请号 DE1989620256T 申请日期 1989.10.05
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 ACKERMANN, DAVID ALAN, HOPEWELL NEW JERSEY 08525, US;BOIE, ROBERT ALBERT, WESTFIELD NEW JERSEY 07090, US
分类号 H01L21/52;B23P19/00;B25J9/18;G05B13/02;G05B19/402;G05D3/00;G05D3/12;H01L21/60;(IPC1-7):B23Q15/24 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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