发明名称 Lasergezuendeter Vakuum-Bogenentladungs-verdampfer
摘要
申请公布号 DD279695(B5) 申请公布日期 1995.08.10
申请号 DD19890325349 申请日期 1989.01.31
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 POMPE, WOLFGANG, PROF.DIPL.-PHYS.DR.SC.NAT.;WILBERG, RUEDIGER, DIPL.-ING.;SCHEIBE, HANS-JOACHIM, DR.RER.NAT;SIEMROTH, PETER, DR.RER.NAT.;SCHULZE, DIETMAR, DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT.
分类号 C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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