| 发明名称 |
Process control for submicron linewidth measurement. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0595020(A3) |
申请公布日期 |
1995.08.09 |
| 申请号 |
EP19930115163 |
申请日期 |
1993.09.21 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC |
发明人 |
PARANJPE AJIT P;CHAPADOS PHILLIP NMI JR;HOSCH JIMMY W |
| 分类号 |
G01B11/02;G02B5/18;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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