人造金刚石薄膜快速生长的方法

摘要

本发明涉及一种人造金刚石薄膜快速生长技术，系将金属材料钼、钛工件用金刚石微粉打磨其表面，然后在其上涂覆有催化剂与金刚石微粉混合在一起的涂覆料，将其放入微波等离子体合成金刚石薄膜机的真空反应区内，抽真空至真空度达Pa^-1后，先充入氢气，再通入甲烷气或碳氢化物，打开微波电源微波放电，在反应室内发生电离，碳氢化物或甲烷气分解，1小时后放入反应室的工件表面，热沉上1.5mm厚的人造金刚石薄膜。

主权项

1、一种人造金刚石薄膜快速生长方法，系将经过表面处理的金属工件，通过微波等离子体放电装置进行化学气相沉积人造金刚石的方法，其特征在于金属材料钼、钛工件，用金刚石微粉打磨其表面清除油污，然后涂覆有催化剂与金刚石微粉混合在一起的涂覆料，放入微波等离子体合成的金刚石薄膜机的真空反应区内，抽真空至真空度达Pa-1后，先充入氢气，再通入甲烷气或碳氢化合物，打开微波电源加热，温度不高于1050℃，反应1小时，放入反应室的工件表面热沉上1.5mm/h厚的人造金刚石薄膜。