| 发明名称 |
PRODUCTION OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS POWDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07206422(A) |
申请公布日期 |
1995.08.08 |
| 申请号 |
JP19940000293 |
申请日期 |
1994.01.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI CHEM CORP |
发明人 |
KIMURA KAZUTOMI;TAKAZAWA AKIHIRO;TANABE YASUO |
| 分类号 |
C01B33/18;H01L21/22;(IPC1-7):C01B33/18 |
主分类号 |
C01B33/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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