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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 KR950008842(B1) 申请公布日期 1995.08.08
申请号 KR19880011437 申请日期 1988.09.03
申请人 DIDO SANSO CO., LTD. 发明人 YOSHINO, AKIRA;WATANABE, TEIIZI;OKUMURA, KENJI
分类号 H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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