发明名称 FORMATION OF SILICON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH07206410(A) 申请公布日期 1995.08.08
申请号 JP19940003149 申请日期 1994.01.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIGEMITSU YUMI
分类号 C01B21/068;B01J19/12;H01L21/318;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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