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发明名称
FORMATION OF SILICON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH07206410(A)
申请公布日期
1995.08.08
申请号
JP19940003149
申请日期
1994.01.17
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SHIGEMITSU YUMI
分类号
C01B21/068;B01J19/12;H01L21/318;(IPC1-7):C01B21/068
主分类号
C01B21/068
代理机构
代理人
主权项
地址
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