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发明名称
VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07207444(A)
申请公布日期
1995.08.08
申请号
JP19940001465
申请日期
1994.01.12
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
NAKAISHI NOBUYOSHI;MORI YASUTAKA;TAGUCHI TOSHIO;SHINYA KENJI;OKITA HAJIME
分类号
C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
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