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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH07207468(A)
申请公布日期
1995.08.08
申请号
JP19940018950
申请日期
1994.01.19
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD
发明人
YAMAZAKI SHUNPEI;HAYASHI SHIGENORI;TERAMOTO SATOSHI;ITO KENJI
分类号
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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