发明名称 ETCHING DEVICE AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07207468(A) 申请公布日期 1995.08.08
申请号 JP19940018950 申请日期 1994.01.19
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;HAYASHI SHIGENORI;TERAMOTO SATOSHI;ITO KENJI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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