发明名称 ELECTRON BEAM ALIGNER AND ALIGNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07201701(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930337223 申请日期 1993.12.28
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 SATO TAKAMASA;YASUDA HIROSHI;YAMADA AKIO;KAI JUNICHI;DAIKYO YOSHIHISA;YAMADA KEIJI;OSHIMA TORU
分类号 H01L21/027;H01J37/153;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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