| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR HEATING AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07201876(A) |
申请公布日期 |
1995.08.04 |
| 申请号 |
JP19940011408 |
申请日期 |
1994.01.06 |
| 申请人 |
SONY CORP;IDEMITSU KOSAN CO LTD |
发明人 |
SAMEJIMA TOSHIYUKI;KONO ATSUSHI;FUJITA MASATO;SHIMO NOBUO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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