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发明名称 SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH07202089(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930335381 申请日期 1993.12.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KONDO TAIJI
分类号 H01L23/40;H05K7/20;(IPC1-7):H01L23/40 主分类号 H01L23/40
代理机构 代理人
主权项
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