发明名称 SELF-FLATTENED METHOD FOR INACTIVATING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07201848(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19940297647 申请日期 1994.11.30
申请人 SGS THOMSON MICROELETTRONICA SPA 发明人 MANRIO SERUJIO CHIEREDA;SUTEFUANO DATSUFURA;EREENA SUTOUTSUKI
分类号 H01L21/318;H01L21/314;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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