发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR GATE PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH07201898(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930352446 申请日期 1993.12.28
申请人 TOWA KK 发明人 BANDO KAZUHIKO
分类号 H01L21/56;B29C45/38;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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