发明名称 RESIST REMOVING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07201835(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19940001109 申请日期 1994.01.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAKO MASAO;INADA AKIISA
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址