发明名称 PELLET BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07201897(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19940314249 申请日期 1994.11.25
申请人 TOSHIBA SEIKI KK 发明人 ARIE MAKOTO;TAKEDA YASUSHI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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